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.特点
经过长年的实验,利用热解析技术设计而成的具有良好的温度均一性的电热板。 考虑到要在清洁环境、真空环境中使用,电热板材料用铝、加热器及周边元件用不锈钢制成。 电热板的表面用硬质氧化铝膜处理法进行了处理,因而具有良好的耐腐蚀性和良好的耐磨损性。
应用
cvd热处理 晶片加热 电子元件加热
外形·尺寸·规格
真空用
电热板材料 :a5052(铝)表面进行氧化铝膜处理
加热器外壳材料 :sus321(不锈钢)
真空密封元件材料:sus304(不锈钢)
最高使用温度 :300℃
表面粗糙度 :6.3s以内
平面度 :0.1mm以下
附属温度传感器 :k型外壳 直径3.2
漏失量 :1×10¯8pam3/秒以下
用于真空中的圆形电热板 (接受订货生产产品)
型号
商品代码
电 压
功 率
a尺寸
温度均一性
重 量
hpc2107
02011515
200v
750w
180
ф160以内
300℃时 ±3℃
约3 kg
hpc2110
02011525
1kw
hpc2210
02011535
1kw
230
ф210以内
300℃时 ±3℃
约4 kg
hpc2215
02011545
1.5kw
hpc2320
02011555
2kw
330
ф310以内
300℃时 ±3℃
约6kg
hpc2330
02011565
3kw
※ 0.0001pa真空容器内,无负荷状态下的值。与使用条件有较大差别。
·温度控制使用hp控制器 hmc2112(1频道)、hmc2212(2频道) (p210)。
·也可以制造标准尺寸规格以外的产品。
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